氟聚合物作為半導(dǎo)體制造業(yè)可容納和運(yùn)輸制造過程中使用的高純度化學(xué)品的材料，可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造需要的*穩(wěn)定性和純度，近幾年隨著半導(dǎo)體行業(yè)的極速擴(kuò)張，氟聚合物制品在半導(dǎo)體行業(yè)的需求量也呈現(xiàn)井噴模式。
通常使用的兩種特殊類型氟聚合物：聚四氟乙烯（PTFE）和可溶性聚四氟乙烯（PFA）。
由于PFA的分子結(jié)構(gòu)允許熔融加工，可通過注塑成型等傳統(tǒng)的單一工序工藝進(jìn)行制造，使得PFA制品的表面粗糙度幾乎無法測(cè)量，且成品不需要進(jìn)行任何后道加工，杜絕引入污染。因此PFA比PTFE更能為半導(dǎo)體工藝化學(xué)品提供安全保障，更適用于半導(dǎo)體行業(yè)。
      Savillex的PFA系列商品種類豐富，質(zhì)量穩(wěn)定可靠，被各半導(dǎo)體制造及其支撐業(yè)企業(yè)選用，應(yīng)用于半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)，是高品質(zhì)的保障。

美國Savillex：開發(fā)優(yōu)秀的氟聚合物產(chǎn)品——無論在哪個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。

產(chǎn)品——Savillex DST系列酸純化器/亞沸蒸餾器            

型號(hào)——DST-1000 & DST-4000

特點(diǎn)——半導(dǎo)體硅片是半導(dǎo)體制造的核心材料，                            

它的生產(chǎn)加工涉及精密拋光、研磨、蝕刻、清洗等工序，
這個(gè)過程中需要用到一些高純度化學(xué)品，比如氫氟酸（HF）、氯化氫（HCI）等強(qiáng)酸，使用Savillex的DST酸純化器進(jìn)行酸提純是一種極其簡(jiǎn)單和經(jīng)濟(jì)的制備高純度酸的方法。使用DST-1000對(duì)微量金屬(1ppb)級(jí)原酸進(jìn)行提純可以在12小時(shí)內(nèi)制備約500ml高純HNO3、HCL或HF，而容量更高的半自動(dòng)化DST-4000可以在同一時(shí)間內(nèi)制備出約2倍的量。在短短幾個(gè)月基至幾周內(nèi)即可收回購置成本。購買市售高純(10ppt)酸不僅價(jià)格昂貴，而且一旦開始使用，反復(fù)打開的過程中極易造成污染。因此使用DST系列酸化器自制高純酸在得到質(zhì)量更可靠的高純酸的同時(shí)，還能為企業(yè)節(jié)約大量成本。

應(yīng)用——VPD直連試劑瓶，各類高純化學(xué)試劑長(zhǎng)期儲(chǔ)存
產(chǎn)品——Savillex 150 Purillex系列PFA高純?cè)噭┢?儲(chǔ)液瓶
規(guī)格——50ml、100ml、250ml、500ml、1000ml、2000ml
特點(diǎn)——Savillex 150 Purillex PFA高純?cè)噭┢坑衫齑邓芄に囍圃?，極低的微量金屬背景，表面無任何毛刺，無死
角，易于傾倒，最后一滴試劑都不浪費(fèi)；完整的2.5轉(zhuǎn)螺紋及防滴漏瓶唇設(shè)計(jì)使其無需內(nèi)蓋即能確保長(zhǎng)期密封完整性，可長(zhǎng)期儲(chǔ)存各類高純?cè)噭?。?0ml規(guī)格的為33mm直徑螺紋蓋，100-2000ml均為GL45標(biāo)準(zhǔn)螺紋口，可與VPD直連，可與各類分液器連用。每個(gè)試劑瓶出廠配備一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的GL45螺紋蓋，通過選配不同的轉(zhuǎn)換蓋即可將試劑瓶集成在不同管路中。
                                           

應(yīng)用——VPD-ICP-MS，ICP-QMS樣品引入，半導(dǎo)體制程各類化學(xué)品、半成品（如：三氯硅烷、磷酸、高純硅樣品、過氧化氫、硝酸、鹽酸、硫酸、太陽能級(jí)硅塊、高硅基質(zhì)樣品等）及硅片雜質(zhì)檢測(cè)

產(chǎn)品——PFA霧化器，PFA霧室，PFA惰性套件，PFA自動(dòng)進(jìn)樣器小瓶
適用品牌——Agilent、ESI、CETEC、PE、Nu……
特點(diǎn)——Savillex PFA 自吸式霧化器采用*的兩件式設(shè)計(jì)，高靈敏度，可反吹設(shè)計(jì)有效防止堵塞，延長(zhǎng)使用壽命。PFA C-Flow同心霧化器流量從35ul/min至700ul/min，可用于半導(dǎo)體使用的任何惰性套件，不僅與Savillex的PFA霧室聯(lián)合，還可與其它品牌的石英霧室聯(lián)用。流量為50ul/min的Savillex PFA霧化器尤其適用于高硅基質(zhì)樣品（如VPD-ICP-MS應(yīng)用）和磷酸。Savillex PFA系列進(jìn)樣產(chǎn)品可與多個(gè)設(shè)備連用。尤其是Agilent PFA霧化器及惰性套件的替代。Savillex PFA自動(dòng)進(jìn)樣器小瓶從200ul至30ml，PE、Varian、I-AS、CETAC、ESI多品牌多型號(hào)自動(dòng)進(jìn)樣器用PFA小瓶，均有不同型號(hào)可替代。Savillex PFA系列進(jìn)樣系統(tǒng)是用戶性價(jià)比方面的planA。

                             

應(yīng)用——超高純氣液化流體輸送，耐腐蝕管路集成
產(chǎn)品——PFA閥門，PFA接頭，PFA三通，PFA&FEP直管&軟管，PFA洗氣瓶（撞擊濾塵器），PFA濾器，PTFE濾膜，PFA螺母螺帽
特點(diǎn)——耐腐蝕，各種流體均適用，適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)各環(huán)節(jié)生產(chǎn)工序的管路集成。材質(zhì)高純、品類繁多，尺寸規(guī)格符合國際標(biāo)準(zhǔn)，適用范圍廣。PFA濾器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作便捷，集成在輸送管路中，可進(jìn)一步凈化各類高腐蝕性氣液化流體，并可在線更換濾膜，極大提高生產(chǎn)效率。

                                         

應(yīng)用——泛半導(dǎo)體制造業(yè)各工序均可使用
產(chǎn)品——實(shí)驗(yàn)室PFA常用工具：Savillex PFA洗瓶，PFA微柱/層析柱，PFA燒杯，PFA夾子，PFA滴瓶，PFA大盆，PFA清洗罐，PFA密封罐，PFA注射器
特點(diǎn)——應(yīng)用廣泛，材質(zhì)高純、設(shè)計(jì)精良、耐腐蝕，提高半導(dǎo)體制造各個(gè)工序檢測(cè)質(zhì)量