高純電子化學(xué)品研究過程中需要使用大量工藝水、洗滌水、循環(huán)水,水質(zhì)對產(chǎn)品質(zhì)量的影響不容忽視。由于高純電子化學(xué)品對雜質(zhì)要求極為嚴(yán)格,所使用的超純水須達(dá)到國標(biāo)一級水標(biāo)準(zhǔn),即無離子、無可溶性有機(jī)物、無菌、微粒達(dá)標(biāo)、電阻率達(dá)到18. 2MΩcm。我國于1997年制定了電子行業(yè)用超純水國家標(biāo)準(zhǔn)GB / T11446. 121997,分為兩級,一級水相當(dāng)于美國半導(dǎo)體行業(yè)Ⅱ級純水標(biāo)準(zhǔn)。
如果試驗過程中誤操作引入不潔凈的水,如洗滌不干凈,或由于循環(huán)水因微小焊縫滲漏,致使產(chǎn)品 Ca、M g、K、N a等離子大大升高,試驗結(jié)果和有效性將大打折扣。與此同時,在清洗試驗設(shè)備 器皿時也要有一套嚴(yán)格的清洗制度,潔凈用具需上機(jī)檢測潔凈度,盡可能避免引入雜質(zhì)和雜質(zhì)富集而影響最終產(chǎn)品質(zhì)量,因此研發(fā)過程中必須十分重視超純水質(zhì)的問題,配備超純水設(shè)備。
UP-200超純水液體粒子計數(shù)器采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品進(jìn)行在線或離線顆粒監(jiān)測和分析,目前是普洛帝分析測試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。
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