ROSI600系列氧分析儀主要在于滿(mǎn)足硅產(chǎn)業(yè)對(duì)于分析的低靈敏度和高精度的要求。一般通過(guò)力可固態(tài)紅外檢測(cè)系統(tǒng)的靈敏度與我們?nèi)略O(shè)計(jì)的進(jìn)樣系統(tǒng)和可編程脈沖爐相結(jié)合。
ROSI600系列氧分析儀提供準(zhǔn)確和精確的氧含量的結(jié)果,比如硅片材料中氧的分析結(jié)果。低靈敏度和高精度也被應(yīng)用到其他金屬工業(yè),比如電子工業(yè)中對(duì)高純度銅中氧含量的測(cè)定需求。
ROSI600系列氧分析儀特征
1、非色散固態(tài)紅外檢測(cè)器,高精度,高分辨率;
2、可編程通過(guò)功率及電流控制的脈沖電極爐;
3、分析精度及準(zhǔn)確度精確至ppm級(jí)別;
4、低空白值,配置適合硅片進(jìn)樣的進(jìn)樣口;
5、配置具有安全保護(hù)性能的試劑容器;
6、儀器全新的氣路設(shè)計(jì)需要更少的維修;
7、氧含量輸入采用ppma格式;
ROSI600系列氧分析儀特點(diǎn)
試樣的進(jìn)樣系統(tǒng)設(shè)計(jì)可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進(jìn)樣系統(tǒng)的滑槽式的設(shè)計(jì)中,硅片可連續(xù)進(jìn)樣。雙密封,磁加載機(jī)械機(jī)構(gòu)以及集成的氧/水氣捕集器,使得進(jìn)樣系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)零大氣污染,并保持更好的載氣氣體的純度。
ROSI600系列氧分析儀參數(shù)1、產(chǎn)地類(lèi)別:進(jìn)口;
2、測(cè)量范圍:碳:0-6.0%;硫:0-1.75%;
3、精度范圍:±1ppm或0.5%RSD;
4、靈敏度:碳:2 ppm、硫:2 ppm
5、測(cè)量原理:紅外吸收法;
6、加熱系統(tǒng):高頻爐。
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