應(yīng)用需求

? 設(shè)備材料，包括金屬（例如Ti，Co-Cr）和聚合物（例如UHMWPE，PEEK），必須進(jìn)行適當(dāng)?shù)那鍧?，?zhǔn)備和紋理化處理（微觀和/或宏觀），以促進(jìn)廣泛涂層的牢固粘合

? 在許多應(yīng)用中，單層表面涂層對(duì)于在最少使用涂料的情況下獲得高度可控的薄膜至關(guān)重要。這樣的涂層可用于改變表面疏水性或可用作附加涂層的附著的基礎(chǔ)，以實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的多層涂層或用于生物分子例如生物活性肽的附著。

? 保形的單層涂層應(yīng)用，例如 通過(guò)嚴(yán)格的熱控制，使羥磷灰石（HA）保持z佳結(jié)晶度

行業(yè)

YES（Yield Engineering Systems）已成功部署了我們的VertaCure，EcoClean和EcoCoat系統(tǒng)以及相關(guān)技術(shù)，可為基因組學(xué)和生物技術(shù)領(lǐng)域的客戶，靈先的研究機(jī)構(gòu)以及行業(yè)頂jian的技術(shù)孵化器提供高效的解決方案。應(yīng)用包括制造DNA和蛋白質(zhì)微陣列以及微流體設(shè)備，這些設(shè)備需要修飾表面疏水性以及功能性生物分子的 均勻且穩(wěn)定的附著。下一代測(cè)序儀器依賴于精密制造的流通池，該流通池包含數(shù)百萬(wàn)個(gè)微尺度位置，可作為DNA平行測(cè)序的點(diǎn)。此類流通池必須經(jīng)過(guò)精密涂覆，才能實(shí)現(xiàn)DNA引物的穩(wěn)定定位，或者必須能夠?qū)ι飩鞲衅鞲浇募{米孔結(jié)構(gòu)進(jìn)行精確定位。 YES的基因組學(xué)行業(yè)客戶已成功地將我們基于等離子體的表面清潔和化學(xué)氣相沉積（CVD）驅(qū)動(dòng)的表面涂層技術(shù)應(yīng)用于嚴(yán)格質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)下的大批量測(cè)序流動(dòng)池制造中。YES儀器和相關(guān)的工藝流程相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的設(shè)備表面改性，同時(shí)zui大程度地降低用于提供出色設(shè)備性能的化學(xué)鍍層成本。

YES產(chǎn)品

YES工程師是受控表面改性的專家，可為多個(gè)最終市場(chǎng)提供有效的制造解決方案，包括硅微處理器的制造，基因組測(cè)序和微流體流通池設(shè)備，醫(yī)療設(shè)備和生物傳感器以及其他高級(jí)表面涂層應(yīng)用。 YES的解決方案提供了*的功能，可在微米和納米級(jí)上修飾表面，與其他涂層技術(shù)相比，具有較低的擁有成本，較小的占地面積和改善的環(huán)境影響。 提供可擴(kuò)展的解決方案，以便可以將流程從臺(tái)式設(shè)備無(wú)縫轉(zhuǎn)移到大容量單元和支持自動(dòng)加載的單元，以進(jìn)行大批量制造（HVM）。

EcoCoat系統(tǒng)：用于化學(xué)氣相沉積，具有出色的重復(fù)性和精度。

? 精確的溫度控制（波動(dòng)性<1％）可在整個(gè)腔室，涂層燒瓶和蒸汽管線中實(shí)現(xiàn)熱均勻性。 這樣可將接觸角均勻性提高2倍

? 涂層在層流下真空沉積，從而產(chǎn)生較溫和的操作條件，減少了污染顆粒的產(chǎn)生，并改善了表面性能（低應(yīng)    力，低翹曲和低脫氣）

? 專有技術(shù)控制液體注入的數(shù)量和速度，以及溫度控制和真空度，從而使涂層單層獲得高質(zhì)量的附著力

? YES過(guò)程比競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品快約3倍，擁有成本比競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品低2倍

? YES擁有沉積100多種前體的經(jīng)驗(yàn)，包括烷基，氨基，環(huán)氧和氟化硅烷衍生物

EcoClean系統(tǒng)：通過(guò)溫和的分子水平清潔，自動(dòng)的血漿剝離/除渣溶液系統(tǒng)。

? 獲得專LI的ICP等離子體源和分配單元可產(chǎn)生緊密耦合到基板的高密度等離子體。 專有的水冷卻技術(shù)可帶來(lái)溫和的清潔效果，并提高了一致性，可提供兩倍的剝離速度，而無(wú)缺陷/損壞（10μm/ min，控制范圍低至100?/ min）。

? 專有設(shè)計(jì)只有3個(gè)活動(dòng)部件，因此具有很高的可靠性（正常運(yùn)行時(shí)間> 95％）并降低了維護(hù)要求。 占?50％的同類產(chǎn)品。

? 非常靈活的系統(tǒng)，經(jīng)證明具有受控的氧，氫和氟種類。

VertaCure固化系統(tǒng)：基于真空的低溫聚合物固化

? 專有的泵和吹掃循環(huán)以及雙O形圈確保將低氧本底保持在10 ppm以下。 專有設(shè)計(jì)采用主動(dòng)加熱和冷卻功能，以實(shí)現(xiàn)可變的斜升和斜降。