實驗材料：厚度0.5㎜的銅箔、透明無機溶膠，實驗樣品如圖1所示

      銅箔                  無機溶膠

圖1 實驗所用樣品圖

材料特性：銅箔質(zhì)軟，容易褶皺；透明無機溶膠具有較大的粘性，不易甩開。

實驗目的：在銅箔表面涂覆一層厚度均勻的薄膜

實驗設備：VTC-200真空旋轉(zhuǎn)涂膜機，實驗所用設備如圖2所示：

VTC-200真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

圖2 實驗所用設備圖

實驗所用設備特點：

VTC-200真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，可利用高速旋轉(zhuǎn)的吸盤使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面。該機使用真空吸盤將樣品固定在載樣盤上，具有兩段程序控制速度。首段程序?qū)⒃O備轉(zhuǎn)速設置在較低的范圍內(nèi)，在此轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)設置一定的注膠時間對樣品進行注膠；第二段程序注膠結束后涂膜機在短時間內(nèi)提升轉(zhuǎn)數(shù)至第二段所設置的轉(zhuǎn)數(shù)進行勻膠，在勻膠之前要對勻膠時間進行設置，當勻膠結束后機器自動停止運轉(zhuǎn)，涂膜的整個過程結束?？衫酶咚傩D(zhuǎn)的吸盤使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面。

設備參數(shù)：

  時間設置范圍：1s-600s；轉(zhuǎn)速：500rpm-6000rpm；

  可設置兩步涂膜程序，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性為±1%，使涂膜更加均勻。

  SPD1轉(zhuǎn)速：500-6000 rpm有效；T1時間：1--600s有效。

  SPD2轉(zhuǎn)速：500-6000 rpm有效；T2時間：1--600s有效。

  載樣盤直徑：φ150mm，適用于尺寸6英寸、8英寸樣片及其它尺寸樣片的涂膜。

實驗過程：

首先將5㎜厚的銅箔固定在1㎜厚的方形玻璃片上，然后將固定有銅箔的玻璃片放到吸盤中間的位置，放置玻璃片的時候盡量找好正中心，以免高速旋轉(zhuǎn)的過程中造成飛片。實驗過程中為了設備清理方便可在機器腔體內(nèi)貼附一層塑料薄膜，試驗后可直接撕下。放置帶有銅箔的玻璃片的設備如圖3所示，

圖3 放置基片的設備圖

放置好試樣后對設備進行程序設置，一段：SPD1  500rpm  T1  15s；二段：SPD1  1500rpm  T2  45s。設置好程序后將膠液擠出一定量到基片表面，然后蓋好上蓋，開啟設備對基片進行涂膜。在首段速度時，涂膜機在較低轉(zhuǎn)速下進行勻膠，使膠液在基片表面鋪展開；在第二段速度時在較高旋轉(zhuǎn)速度下使基片表面的膠體迅速甩開，將多余的膠液甩倒基片外面，然后在基片表面形成具有一定厚度的薄膜。程序運行結束后，將樣品移下并自然干燥，干燥后的試樣如圖4所示；

圖4 干燥后的試樣圖

  用肉眼可見，薄膜在基片表面均勻分布，若要了解試樣的確切厚度，可使用TFMS-IV型高精度反射膜厚儀對試樣表面厚度進行測量。