萊寶真空泵真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中都發(fā)揮著極其重要的作用。 對(duì)于特殊的生產(chǎn)要求,必須選擇合適的真空設(shè)備。 在過(guò)去的幾年中,為了*半導(dǎo)體行業(yè)的需求,我們縮短了產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期,并更快地推出了新產(chǎn)品,從而大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。
萊寶真空泵需要在真空下運(yùn)行的分析儀器行業(yè)是真空設(shè)備大,復(fù)雜的市場(chǎng)之一。 這個(gè)市場(chǎng)包括各種設(shè)計(jì)的平面分析儀器,質(zhì)譜儀,電子顯微鏡和氦氣檢漏儀系列。 我們的產(chǎn)品類(lèi)型適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和*簡(jiǎn)單的桌面操作。 一些關(guān)鍵性能參數(shù)顯示了萊寶真空泵的工作能力,測(cè)量設(shè)備和組件,緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),*的技術(shù)水平和良好的穩(wěn)定性。
萊寶真空泵結(jié)構(gòu)介紹:
來(lái)寶真空泵安裝在帶有三個(gè)葉片的泵體的偏心轉(zhuǎn)子中。 它們將泵分成三個(gè)隔室,每個(gè)隔室的容積會(huì)隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而定期變化。
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),抽空腔的進(jìn)氣部分的體積擴(kuò)大,氣體從進(jìn)氣口被吸入,氣體通過(guò)空氣濾清器,打開(kāi)的止回閥進(jìn)入腔泵。 。 隨著轉(zhuǎn)子的進(jìn)一步旋轉(zhuǎn),葉片將泵腔部分與吸入口分開(kāi)。 泵腔的體積減小,氣體被壓縮。 氣體以略高于大氣壓的壓力通過(guò)排氣閥從泵腔中排出。
mu油起著密封,潤(rùn)滑和冷卻泵腔中泵的作用。 由于轉(zhuǎn)向,壓縮氣體夾帶的油初被捕獲在油箱中。 然后在出口油霧分離器中將其*過(guò)濾。 結(jié)果,廢氣中的油含量下降到可見(jiàn)水平以下。
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