質(zhì)譜儀是進行質(zhì)譜分析的儀器，按應用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、有機質(zhì)譜儀和無機質(zhì)譜儀。

1、同位素質(zhì)譜儀
同位素質(zhì)譜分析法的特點是測試速度快，結(jié)果，樣品用量少(微克量級)。能測定元素的同位素比值。廣泛用于核科學，地質(zhì)年代測定，同位素稀釋質(zhì)譜分析，同位素示蹤分析。

2、有機質(zhì)譜儀
分為四極桿質(zhì)譜儀、離子阱質(zhì)譜儀、飛行時間質(zhì)譜儀和磁質(zhì)譜儀等。
基本工作原理：以電子轟擊或其他的方式使被測物質(zhì)離子化，形成各種質(zhì)荷比（m/e）的離子，然后利用電磁學原理使離子按不同的質(zhì)荷比分離并測量各種離子的強度，從而確定被測物質(zhì)的分子量和結(jié)構。 
有機質(zhì)譜儀主要用于有機化合物的結(jié)構鑒定，它能提供化合物的分子量、元素組成以及官能團等結(jié)構信息。可廣泛用于有機化學、生物學、地球化學、核工業(yè)、材料科學、環(huán)境科學、醫(yī)學衛(wèi)生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和公安工作等特種分析方面。

3、無機質(zhì)譜儀
分為火花源質(zhì)譜儀、離子探針質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。
無機質(zhì)譜儀與有機質(zhì)譜儀工作原理不同的是物質(zhì)離子化的方式不一樣，無機質(zhì)譜儀是以電感耦合高頻放電(ICP)或其他的方式使被測物質(zhì)離子化。 
無機質(zhì)譜儀主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面。廣泛用于地質(zhì)學、礦物學、地球化學、核工業(yè)、材料科學、環(huán)境科學、醫(yī)學衛(wèi)生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和公安工作等特種分析方面。