近年來，精密測量技術發(fā)展迅速，成果喜人。例如在線測量技術，已可進行加工狀態(tài)的實時測量與顯示，及時檢測加工是否出現(xiàn)異常狀況，從而可大幅度提高生產效率。
在高精度加工和質量管理過程中，隨著光機電一體化、系統(tǒng)化的發(fā)展，光學測量技術有了迅速發(fā)展，相應的測量機產品大量涌現(xiàn)，測量軟件的開發(fā)也日益受到重視。

近年來，利用光學原理開發(fā)的非接觸測量機及各種裝置非常多。如MARPOSS公司的非接觸式工具測量系統(tǒng)MidaLaser就是采用激光測頭的新型測量機，該機可在CNC機床保持運轉的情況下自動對所有工具進行非接觸測量，并可根據(jù)測得值對工具進行自動定位。索尼精密工程公司的非接觸形狀測量機YP20/21也是利用半導體激光高速高精密自動聚焦傳感器的形狀測量機，所有刻度尺均系標準元件，傳感器和載物臺均由微型計算機控制，具有優(yōu)異的操作性能和數(shù)據(jù)處理功能。YKT公司銷售的非接觸三坐標測量系統(tǒng)Zip250是一種高剛性、高速、高精密的新型測量機。該機載物臺的承載量為25kg，刻度尺的分辨力（X、Y、Z軸）均為0.25μm。機上裝配了帶數(shù)碼法蘭盤的CCD攝像機和DSP處理器，因此可進行高速圖像處理測量，同時也可與接觸式測頭并用進行相關測量。

隨著非接觸、率測量機的大量出現(xiàn)，專家預計，21世紀測量技術的發(fā)展方向大致如下：

（1）測量精度由微米級向納米級發(fā)展，測量分辨力進一步提高；

（2）由點測量向面測量過渡（即由長度的精密測量擴展至形狀的精密測量），提高整體測量精度；

（3）隨著圖像處理等新技術的應用，遙感技術在精密測量工程中將得到推廣和普及；

（4）隨著標準化體制的確立和測量不確定度的數(shù)值化，將有效提高測量的可靠性。

總之，測量技術必須實現(xiàn)高精度化，同時也要求實現(xiàn)高速化和率化，因此，非接觸測量和率測量也必然成為新世紀精密測量技術的重要發(fā)展方向。