為什么做清潔度檢測需要用到偏光

來源：上海永傲精密儀器有限公司 2016年12月27日 09:33

在分析被測濾膜上的殘留物顆粒時(shí)，濾膜上金屬顆粒的表面局部單個(gè)或多個(gè)位置呈現(xiàn)反光，普通明場掃描不能準(zhǔn)確判斷顆粒的大小及數(shù)量。

金屬顆粒:

偏光掃描解決在明場中單個(gè)金屬顆粒表面多個(gè)位置反光造成的數(shù)量統(tǒng)計(jì)不準(zhǔn)確。

顯微鏡使用的光源，其出射光經(jīng)過線性偏振后再照射到濾膜表面。通過偏振光物理原理應(yīng)用來識(shí)別、對比顆粒在不同偏振光下的圖片，而后鑒別出金屬和非金屬顆粒。

偏光掃描：2次掃描，過程全自動(dòng)偏光，偏光掃描統(tǒng)計(jì)所有顆粒數(shù)量及測量尺寸，再明場掃描定性顆粒性質(zhì)（金屬or非金屬），減少誤判。

明場掃描：1次掃描，一個(gè)大金屬顆粒被分解成數(shù)個(gè)金屬顆粒及非金屬顆粒，尺寸和顆粒的數(shù)量。統(tǒng)計(jì)不準(zhǔn)確。

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