等離子體發(fā)生器的長期穩(wěn)定性是*用戶體驗的一個重要部分。射頻發(fā)生器插件板屬于水冷型,可延長使用壽命。另外,作為射頻電路系統(tǒng)的一個組成部分,所提供的一整套電子產(chǎn)品可以保護功率晶體管,有助于長期穩(wěn)定性。專為 NexION 2000 系統(tǒng)設(shè)計的射頻發(fā)生器電路系統(tǒng)同時使用寬頻帶和窄頻帶電路技巧,從而保護晶體管不受快速電壓瞬變和電壓擊穿的影響。
功率晶體管之間的功率和電流失配是任何等離子體射頻發(fā)生器都需要避免的結(jié)果。當其中一個晶體管驅(qū)動過猛,運行溫度高于另一個晶體管時這個問題就會出現(xiàn),對晶體管的可靠性造成負面影響。這類問題一般源于裝置增益、輸出負載或輸入驅(qū)動強度的失配,這些都會導致晶體管的功率載荷不均。由于失配有很多種起因,所以解決這類問題不能光靠解決一條電路。因此我們的設(shè)計團隊通過嚴格的設(shè)計和測試方法確??刂?NexION 2000 射頻等離子體發(fā)生器載荷兩個功率晶體管的電流,使兩者幾近相同,保持平衡。這就是對稱均衡微分射頻等離子體發(fā)生器的特點;其優(yōu)點不僅是減小等離子體電勢,還能增加等離子體發(fā)生器的 MTBF(平均故障間隔時間)
NexION 2000 ICP-MS 的等離子體發(fā)生器配備了一個裝有內(nèi)置固件的 32b 微控制器(MCU)。MCU 執(zhí)行數(shù)字控制回路,監(jiān)測和管理等離子體的操作條件。它確保晶體管在工作電壓和電流下運行,從而使出錯的余地大化,避免同時發(fā)生電壓擊穿和電流故障。一個全新的特征是 MCU 可以在正常操作時實時監(jiān)測功率晶體管的健康狀態(tài)。當 MCU 檢測出晶體管即將崩潰或故障剛剛發(fā)生時,MCU 會自動采取相應(yīng)的措施并關(guān)閉等離子體發(fā)生器,從而避免部件被損壞。這個特征有助于延長功率晶體管的使用壽命。在操作過程中,MCU 還提供了一整套診斷信息,并通過 Syngistix ™ ICP-MS 軟件與用戶分享該信息。
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