珀金埃爾默公司的NexION 2000 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)可提供多種*消除多原子離子干擾的方式。在鹽酸分析中,除去氯的干擾是至關(guān)重要的,目前有效的反應(yīng)氣是高純氨氣和高純氧氣。
本文介紹了NexION 2000 ICP-MS 對(duì)半導(dǎo)體級(jí)鹽酸進(jìn)行雜質(zhì)分析的應(yīng)用案例,*可以滿足或超越SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。
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