產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 3萬(wàn)-5萬(wàn) |
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適用行業(yè) | 高純氣體分析專用 | 儀器種類 | 實(shí)驗(yàn)室 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,石油,能源,綜合 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳
GC-9280型氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)。
檢測(cè)項(xiàng)目:
項(xiàng)目 | 指 標(biāo) | ||
四氟化碳(CF4)純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 4 | 20 | 40 |
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫(SF6)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 1 | 1 | 5 |
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/含量,10-6 < | 3 | 5 | 10 |
酸度(以HF計(jì))含量含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它鹵碳化合物a含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 < | 1 | 10 | 30 |
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。 |
產(chǎn)品的特點(diǎn):
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應(yīng)用氣體分離專用色譜柱分離預(yù)切再分離技術(shù)
◆ 采用可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測(cè)器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀
中心切割與反吹系統(tǒng):
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng),該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成,通過(guò)工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過(guò)程,完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè):
VALCO吹掃型十通閥:
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
氣體全分析流程:
HP-2氦氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
PDHID對(duì)部分雜質(zhì)的檢測(cè)限(ppb)
雜質(zhì)種類
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H4 | C2H6 | C2H2 | N2O | 苯 |
檢測(cè)限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 5 | 1 |