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LISICO 樂思科 3D光學干涉輪廓儀
LISICO 樂思科 3D光學干涉輪廓儀的優(yōu)勢:
降低三維納米顯微技術(shù)產(chǎn)品化的成本
擴大技術(shù)的測量范圍
擁有獨立自主的核心技術(shù)
統(tǒng)一的核心技術(shù)平臺、針對不同的產(chǎn)業(yè),不同的輔助軟件、輔助硬件配置,系列檢測技術(shù)和系統(tǒng)
多年半導體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗
所有的關(guān)鍵硬件來自美國、德國日本等
PI,納米移動平臺及控制
Nikon,干涉物鏡
NI,信號控制板和Labview64控制軟件
TMC 隔震平臺
原理:
干涉測量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
應用
1. 在太陽能產(chǎn)業(yè)的應用
激光開孔形貌圖,薄膜太陽能電池技術(shù)
2. 在集成電路產(chǎn)業(yè)的應用
上海人和科學儀器有限公司(以下簡稱“人和公司")歷經(jīng)三十年的發(fā)展,目前服務過的客戶已經(jīng)超過20000家,眾多
企業(yè)皆已成為人和的忠實客戶。人和公司從最初儀器設備以及售后服務的提供商,到現(xiàn)在引進*的自動化、智能化、
擁有物聯(lián)網(wǎng)的在線儀器和生產(chǎn)設備,為客戶量身定制整體解決方案,通過專業(yè)、細致和全面的技術(shù)服務實現(xiàn)“為客戶
創(chuàng)造更多價值"的承諾。
人和公司始終聚焦行業(yè)痛點,在解決方案中不斷融入符合中國制造2025標準,具有自動化、智能化、數(shù)字化、微型
化和模塊化帶物聯(lián)網(wǎng)的儀器設備。讓客戶通過這些儀器設備實時獲取生產(chǎn)過程中的信息反饋,進行綜合分析,不斷
優(yōu)化生產(chǎn)工藝,從而實現(xiàn)在提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時,降低生產(chǎn)成本。