特征

• 對(duì)轉(zhuǎn)子軸、筒體等主要部件進(jìn)行特殊的表面處理，具有較高的耐腐蝕性。

• ULVAC 螺桿式轉(zhuǎn)子軸設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高粉末排出性能。

• 可在從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行。

目的

• 電子零件、半導(dǎo)體制造設(shè)備用真空排氣系統(tǒng)
  蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等

• 真空熱處理爐、真空抽氣系統(tǒng)
  燒結(jié)爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
  電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等

• 醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備真空排氣
  冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

*MS1200A 可單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)，并添加控制板和傳感器。請(qǐng)聯(lián)系我們。