采用高亮度微型X射線(xiàn)光源

用于透射形貌圖的Mo射線(xiàn)源和用于反射形貌圖的Cu射線(xiàn)源可以通過(guò)計(jì)算機(jī)控制進(jìn)行切換。

采用特殊射線(xiàn)鏡光學(xué)系統(tǒng)

使用多層膜平行光束準(zhǔn)直器生成單色/平行光束。

與晶體準(zhǔn)直器兼容

高度平行的 X 射線(xiàn)束使我們能夠獲得對(duì)晶格畸變敏感的反射形貌。

切換方便

您可以通過(guò)計(jì)算機(jī)輕松地在觀察晶體內(nèi)部的透射形貌圖和觀察表面附近缺陷的反射形貌圖之間進(jìn)行切換。

使用高分辨率 X 射線(xiàn) CCD 相機(jī)采集數(shù)字圖像。

使用形貌圖像的晶體缺陷分析軟件。

兼容各種晶圓尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。

它可以水平放置樣品，還可以自動(dòng)傳輸 3、4、6、8 和 12 英寸晶圓。

自動(dòng)曲率校正機(jī)制甚至可以根據(jù)曲率程度拍攝彎曲的晶體。