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研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
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掃描電鏡等離子清洗機(jī)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2024-10-22 17:07:02瀏覽次數(shù):92次

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一、產(chǎn)品介紹CIF掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑?/div>

一、產(chǎn)品介紹

CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 遠(yuǎn)程等離子清洗源

u 清洗快速、高效

u 低轟擊損傷

三、技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-SEM

法蘭接口

KF40CF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調(diào),


遠(yuǎn)程等離子源,自動(dòng)匹配器

氣體控制

標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計(jì),測(cè)量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面

電源/功率

220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保,終身維護(hù)

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