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當(dāng)前位置：研啟科學(xué)儀器（東莞）有限公司>> 分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)MBE
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-22 16:59:30瀏覽次數(shù)：58次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)v 分子束外延，是在超高真空系統(tǒng)中把所需要的結(jié)晶材料放入到噴射爐中，將噴射爐加熱。使結(jié)晶材料形成分子束，從爐中噴出后，沉積在溫度保持在幾的單晶基片上。如果設(shè)置幾個(gè)噴射爐，就可以制取多元半導(dǎo)體混晶，又可以同時(shí)進(jìn)行摻雜?？梢跃_地控制結(jié)晶生長，進(jìn)行沉積系統(tǒng)中結(jié)晶生長過程的研究
v 12個(gè)源爐：鎵、銦、鋁、砷、銻、磷、鉍、硅、鎂、摻雜等
v 襯底：4inch
v 溫度：1000°C 溫度均勻性：≤±3°C（4inch）
v 超高真空下全自動(dòng)樣品轉(zhuǎn)移
v 用于過程控制和分析的所有現(xiàn)代現(xiàn)場監(jiān)控功能
v 一個(gè)集群上最多7個(gè)超高真空功能單元：裝載、儲(chǔ)存、翻轉(zhuǎn)、處理、排氣、生長，外部腔室
v 可連接其他分析設(shè)備或其他：ALD、PLD、PVD、金屬化、STM......
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