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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:54:23瀏覽次數(shù):62次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)v 應(yīng)用領(lǐng)域:Pillar,Bump,RDL,TSV等工藝
v 晶圓尺寸:150mm~300mm
v 設(shè)備配置:
? 最多3個loadport
? 最多24個電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au
? 最多4個預(yù)濕腔體,4個清洗腔體
? 水平式電鍍腔體,無交叉污染
? 支持模塊化維護,提高設(shè)備正常運行時間
? 橡膠密封技術(shù),更佳密封性能
? 陰陽極分離技術(shù),更佳鍍液穩(wěn)定性
v 工藝指標(biāo):
v 高度均勻性:WiW≤5% WtW≤5% RtR≤5%
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