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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> 激光退火設備
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:53:27瀏覽次數(shù):45次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)v 應用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火,形成良好的歐姆接觸
v 加工尺寸:4inch、6inch
v 加工速度:1000mm/s
v 加工精度:±1μm
v 平臺參數(shù):行程300mm×300mm
v 重復定位精度:±0.001mm
v 激光器參數(shù):紫外
v 稼動率:98%以上
v 重大故障間隙時間:>1000H
v 良率:≥99.5%
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