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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> Nikon S205C掃描式光刻機
產品型號
品 牌
廠商性質代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:35:48瀏覽次數(shù):40次
詳情介紹
Nikon S205C
1.Nikon S205C掃描式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.15µm
主要用于8寸及12寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.15µm
N.A.0.75
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場25mm*33mm
對準精度
LSA:35nm
FIA:40nm
3.更多服務
提供中英文軟件及8"、12"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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