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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:33:06瀏覽次數(shù):30次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)Nikon NSR 2005i10C
1.Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標
分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場20mm*20mm
對準精度
LSA:100nm
FIA:110nm
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