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所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2024-10-22 16:23:05瀏覽次數(shù):33次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)v 在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動(dòng)路徑可以實(shí)現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細(xì)小的液滴
v 噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層,因此它是這種結(jié)構(gòu)的方法。噴涂法還能噴涂方形的襯底
v 對(duì)起伏臺(tái)階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工
v 基板尺寸直徑為200 mm,方形邊長為 6inch
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