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當(dāng)前位置:研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司>> 聚焦離子束系統(tǒng)FIB
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:16:44瀏覽次數(shù):43次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)v FIB是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后作用于樣品表面,應(yīng)用于:產(chǎn)生二次電子信號取得電子像,此功能與SEM相似,用強(qiáng)電流離子束對表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工,通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng),有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層
v 芯片領(lǐng)域應(yīng)用:IC芯片電路修改,Cross-Section 截面分析,FIB透射電鏡樣品制備,材料鑒定
v 液態(tài)金屬離子源:分辨率3nm@30kv 120nm@1kv
v 檢測器:Inlens SE、Inlens EsB、VPSE(可變氣壓二次電子探測器)、SESI(二次電子二次離子探測器)、aSTEM(掃描透射電子探測器)、aBSD(背散射探測器)
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