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合肥新元素科技裝備有限公司
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OYS-1200C-Ⅲ-CVD系統(tǒng)管式爐
  • OYS-1200C-Ⅲ-CVD系統(tǒng)管式爐

貨物所在地:安徽合肥市

地: 安徽合肥

更新時間:2024-09-09 13:47:29

瀏覽次數(shù):65

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CVD系統(tǒng)管式爐是一種重要的材料制備設備,廣泛應用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產之中。它主要用于在固態(tài)基材上沉積一層薄膜,其組成部分包括高溫真空管式爐、氣路和真空系統(tǒng)。

CVD系統(tǒng)管式爐OYS-1200C-Ⅲ+GYS-4F+JXB-12+真空連接配件CVD系統(tǒng)管式爐


OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐

一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達到1200℃(1200℃<1H)。爐管為高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可以在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統(tǒng),可設置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。


技術資料

產品型號

翻蓋爐  OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100

主要產品參數(shù)

電源:220V  50/60Hz

額定功率:7.1 KW

最高工作溫度:1200℃(<0.5 h)

連續(xù)工作溫度:1100 ℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區(qū)長度:加熱區(qū)長度:900mm

熱電偶:K型

外形尺寸:1675mm*645mm*865mm

爐體結構&溫控

爐體結構&溫控:采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng);爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,減少能量損失;內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命;三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制;包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能;控溫精度±1℃;默認DB9PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)

加熱元件

鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb

爐管尺寸

石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100

真空密封

標配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈;

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計;

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經理;

真空度

采用雙旋片式機械真空泵真空度可以達到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產或進口高真空機組;

可選

本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉換系數(shù)

認證標準及核心零部件

CE、UL等認證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件;

售后

質保期一年,終身維護;24小時在線服務

注意事項

爐管內氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等);氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min)

免責聲明

本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數(shù)等) 僅供參考。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產品詳細信息,請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構成任何要約或承諾,我司會不定期完善產品,恕不另行通知,請您見諒。



浮子流量控制系統(tǒng)GYS-4F

GYS-4F是一款三通道混氣系統(tǒng)(1單獨3混氣),用于情性氣體的控制,可用于管式爐、手套箱、等離子清洗機、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等


技術資料

產品型號

供氣系統(tǒng) GYS-4F

產品特點

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。

尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管。

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。

顯示流量準確,可有效控制氣體的消耗量

設備底部有滾動輪,方便移動使用方便,無需通電

產品參數(shù)

浮子流量計量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min;25-250mL/min;

精度:4%

壓力表量程:-0.1-0.15MPa

通氣管道: φ6.35mm的聚四氟管

選配:浮子流量計量程可選配,5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。

混氣罐

內置一個不銹鋼混氣罐,可更好的混合氣體

混氣罐尺寸:直徑76*長154mm


氣口/閥門

背面的進氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭,進氣口通過四氟管連接氣瓶,出氣口通過四氟管連接到設備的進氣口

兩個通道氣體進入混氣罐混氣,一個氣體通道獨立

前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進出,獨立通道的進出氣不受針閥控制。

產品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量:約30Kg

售后

質保期一年,終身維護;24小時在線服務

免責聲明

本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數(shù)等) 僅供參考。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產品詳細信息,請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構成任何要約或承諾,我司會不定期完善產品,恕不另行通知,請您見諒






真空系統(tǒng)JXB-12參數(shù)表

JXB-12是一套低真空機組,其極限真空度為10-3torr。內部安裝有雙旋機械泵TRP-12配套使用,其接口為KF25接含有電阻真空計DGR-52和連接管道接頭等。

技術資料

產品型號

真空系統(tǒng)JXB-12

產品特點

610*610mm的承重臺面,可配合微元素管式爐使用,節(jié)約空間。

極限真空度可達到10-3torr,滿足大多數(shù)真空實驗要求。

滾輪上裝有制動裝置,提高安全性。

產品參數(shù)

電源:AC220V 50/60HZ

功率:1KW

抽氣速率:3L/S

極限真空度:1.0*10-1Pa

電阻真空計

電源:AC220v 50HZ

功率:≤6W

測量范圍:1.0*10-1Pa~1.0*105Pa

有效范圍:1.0*100Pa~1.0*104Pa

測量環(huán)境:非腐蝕性密封容器

測量精度:<±30%

顯示方式:LCD數(shù)顯

高真空手動擋板閥

高真空專用不銹鋼閥門,采用氟膠圈密封,KF25卡箍連接

連接口:兩個KF25接口。

漏率達5*10-9Pam3/s。

產品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量:約50Kg

認證標準及核心零部件

CE、UL等認證,核心零部件有ABB、歐 米茄、東明等

售后

質保期一年,終身維護;24小時在線服務

免責聲明

本產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數(shù)等) 僅供參考。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產品詳細信息,請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構成任何要約或承諾,我司會不定期完善產品,恕不另行通知,請您見諒



真空連接配件:(選購)

KF25卡箍

KF25盲板

KF16卡箍

KF16盲板

不銹鋼波紋管KF25口

手動真空擋板閥KF25口

電阻真空計:測量范圍:1.0x105pa——1.0x10-1pa

INFICON 皮拉尼電容膜片真空計:測量范圍:3.8x10-5- 1125Torr









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