電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)60x60信息適用于硅片的打標(biāo)等的微小角度調(diào)整用自動(dòng)平臺(tái)。最大速度60°/sec平臺(tái)臺(tái)面材料鋁合金傳感器型號(hào)微型光電傳感器:GP1S097HCZ(夏普(株))臺(tái)面尺寸φ60mm傳動(dòng)副間隙0.05°分辨率(半步)≒0.0027°/脈沖分辨率(整步)≒0.0053°/脈沖扭矩剛度1″/N?cm極限位置傳感器有(常閉)空行程0.003°定位
產(chǎn)品名稱
電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)60x60
信息
適用于硅片的打標(biāo)等的微小角度調(diào)整用自動(dòng)平臺(tái)。
最大速度60°/sec
平臺(tái)臺(tái)面材料鋁合金
傳感器型號(hào)微型光電傳感器:GP1S097HCZ(夏普(株))
臺(tái)面尺寸φ60mm
傳動(dòng)副間隙0.05°
分辨率(半步)≒0.0027°/脈沖
分辨率(整步)≒0.0053°/脈沖
扭矩剛度1″/N?cm
極限位置傳感器有(常閉)
空行程0.003°
定位精度0.05°
導(dǎo)軌形式滾動(dòng)軸承
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)滾珠絲杠+鋼帶
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍±5°
近接原點(diǎn)傳感器無(wú)
重復(fù)定位精度0.003°
原點(diǎn)傳感器有(常開(kāi))
最小位移量 (參考數(shù)據(jù))0.5mdeg
自重0.5kg
承載能力29.4N(3.0kgf)
同心度10μm
表面處理黑色氧化
平行度50μm
臺(tái)面跳動(dòng)量0.01mm
傳感器 信號(hào)的含義遮光時(shí):輸出晶體管OFF(截止):極限位置傳感器
遮光時(shí):輸出晶體管ON(導(dǎo)通):原點(diǎn)傳感器
傳感器 消耗電流60mA以下(單個(gè)傳感器20mA以下)
傳感器 輸出端電氣特性NPN集電極開(kāi)路輸出 DC30V以下50mA以下
傳感器 電源電壓DC5~24V±10%
電機(jī) 步距角0.72°
電機(jī) 類型5相步進(jìn)電機(jī) 0.75A/相(多摩川精機(jī)(株))
電機(jī) 型號(hào)TS3664N4E10(□24mm)
控制器GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M?HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
驅(qū)動(dòng)器SG-5M?SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL