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更新時(shí)間:2024-06-24 08:10:10
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特點(diǎn)
監(jiān)測(cè)周期大約為2秒,支持300mm工藝的濃度管理
實(shí)現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測(cè)周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時(shí)間、冷卻時(shí)間)
小巧化設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右,這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間??梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進(jìn)行比較)
通過減少清洗工藝中的批次不良,提高產(chǎn)量
通過濃度計(jì)的信號(hào)輸出,進(jìn)行SC-1溶液的補(bǔ)給控制,從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良,從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。
全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式,因此開始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外,由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣,所以不需要用水。
通過采取全面的氣泡對(duì)策,可監(jiān)測(cè)高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡,在監(jiān)測(cè)過程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且,如果是冷卻器一體型產(chǎn)品,則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。
采用DC24V,實(shí)現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電,提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且,由于內(nèi)置漏水傳感器,在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等,采取緊急措施。
SC-1濃度計(jì)
CS-131
技術(shù)規(guī)格
型號(hào)和規(guī)格 | CS-131:無冷卻器 |
監(jiān)測(cè)對(duì)象 | SC-1(氨/過氧化氫水溶液) |
測(cè)量原理 | 吸收光譜測(cè)定法 |
濃度計(jì)算的原理 | 溫度補(bǔ)償型多變量解析法 |
監(jiān)測(cè)范圍 | 氨:0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00% |
再現(xiàn)性 | 氨: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25% |
藥液條件 溫度 | CS-131:20〜30℃ |
藥液條件 流量 | CS-131:20〜60mL/min |
藥液條件 壓力 | 0.10〜0.20MPa |
監(jiān)測(cè)周期 | zui小約2秒(不包含藥液的置換時(shí)間・冷卻時(shí)間) |
設(shè)置溫度 | 20〜25℃ |
操作面板 | 1)溫度檢測(cè)值的顯示:氨、過氧化氫、水 |
串行輸入 | RS-232C |
并行輸入 | DC12〜30V(光電耦合器絕緣) |
并行輸出 | 開路集電極輸出為ON 時(shí)的zui大電流:5mA、為OFF時(shí)的zui大電壓:30V |
模擬輸出 | 4〜20mA(2輸出:NH3濃度、H2O2濃度的2輸出) |
電源 | DC24V±10%, 2A |
外形尺寸 | CS-131:205(W)×329(D)×269(H)mm |
質(zhì)量 | CS-131:約11kg |
連接配管尺寸 | 導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm) |
配管接頭 | Nippon Pillar Super型 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)