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貨物所在地:上海上海市
更新時(shí)間:2024-09-10 10:19:15
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寫真化學(xué)膜厚測(cè)量裝置
標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)可測(cè)量膜厚對(duì)象:
抗蝕劑厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
端點(diǎn)檢測(cè)
貼合晶片等
自動(dòng)映射膜厚儀
可測(cè)量膜厚對(duì)象:
抗蝕劑厚度
貼合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
帶圖案晶片等
分為:標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)、紅外透射式型號(hào)、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀
寫真化學(xué)膜厚測(cè)量裝置
通用型膜厚監(jiān)視器(標(biāo)準(zhǔn)型號(hào))
● 可用作端點(diǎn)監(jiān)視器
● 也可以對(duì)應(yīng)粘接劑層、玻璃層等通常較難測(cè)量的材料
通用型膜厚監(jiān)視器(紅外透射式型號(hào))
● 對(duì)應(yīng)反射弱的薄膜材料
● 可對(duì)應(yīng)卷對(duì)卷測(cè)量
自動(dòng)映射膜厚儀
● 除了高速自動(dòng)映射、等高線、3D圖顯示之外,還自動(dòng)解析直方圖等統(tǒng)計(jì)信息
● 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)φ100~300mm的圓形晶圓,也可對(duì)應(yīng)方形被測(cè)物等特殊形狀,可選配定制載物臺(tái)板
● 可對(duì)應(yīng)選配項(xiàng)目中的自動(dòng)校準(zhǔn)
成像膜厚儀
● 微細(xì)二維膜厚分布原位的可視化
● 通過在GUI上區(qū)域,計(jì)算微小區(qū)域的膜厚
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)