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NIM型真空紫外光譜儀，采用Seya- Namioka光路結(jié)構(gòu)，入射狹縫和CCD探測(cè)器位于羅蘭圓上，可以單色模式和光譜模式切用 。NIM型真空紫外光譜儀可應(yīng)用于大科學(xué)裝置、半導(dǎo)體極紫外光源與探測(cè)器研究、空間與防務(wù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、波長(zhǎng)范圍較寬

2、在線精密可調(diào)狹縫

3、可擴(kuò)展空間維聚焦

4、可進(jìn)行系統(tǒng)集成服務(wù)

5、結(jié)構(gòu)緊湊集成度高

6、高真空兼容性

主要參數(shù)：

· 光柵類型：球面光柵

· 波長(zhǎng)范圍：80nm~200nm

· 光譜分辨率：0.16nm@167nm

· 波長(zhǎng)精度：根據(jù)需求設(shè)計(jì)

· 探測(cè)器類型：科研級(jí)相機(jī)

· 狹縫寬度：0.01~3mm在線連續(xù)可調(diào)

測(cè)試數(shù)據(jù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：

大科學(xué)裝置/半導(dǎo)體極紫外光源與探測(cè)器研究/空間與防務(wù)