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目錄:北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司>>薄膜材料生長(zhǎng)成套設(shè)備>> 高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
  • 高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
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  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2024-03-12 17:15:27瀏覽次數(shù):138評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,工作溫度可達(dá)1200℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5torr

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 高真空 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-80-C2HV 是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組 成,工作溫度可達(dá) 1200 ,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng) 極限真空度可達(dá) 10-5 torr。


產(chǎn)品型號(hào)

高真空 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-80-C2HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺(tái): 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<60℃。


2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。


3 、采用 PID 控制器, 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。


4 、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用 316 不銹鋼制作而成。


5 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐


1 、電源: AC 220V    50Hz/60Hz





2、石英管: 外徑 ?80mm ,內(nèi)徑 ?75mm ,長(zhǎng) 1000mm


3、加熱元件: 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯)


4、加熱區(qū)域: 440mm


5、恒溫區(qū)域: 150mm


6 、工作溫度:  1200 ,連續(xù)工作 1100


7、升降溫速率: 20/min


8、控溫精度:± 1


9、熱電偶: K 

高真空機(jī)組


1、殼體: 600mm×600mm×700mm ,承重 275kg


2、真空泵: 德國(guó) Pfeiffer 真空泵


3、顯示屏: LCD 數(shù)字顯示


4、抽氣速率: N2-33L/s ,He-39L/s ,H2-32L/s


5、工作范圍: 1000mtorr-10-7mtorr

6、極限: 10-8mtorr  (無(wú)泄漏)

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)


1、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz


2、功率: 18W


3、尺寸: 600mm×600mm×700mm


4、混氣箱: ?80mm×120mm


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