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產(chǎn)品型號

1600℃三溫區(qū)高溫真空管式爐 GSL-1600X-III

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

控溫精度高，保溫效果好，溫度范圍大，溫度均勻性高，溫區(qū)多，可通氣氛抽真空及安全可靠、 操作簡單等特點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、氧化鋁陶瓷管： 外徑 ?60mm ，?80mm ，長 1200mm

3、加熱元件： 溫區(qū) I 硅碳棒， 溫區(qū) II 硅鉬棒， 溫區(qū) I 硅碳棒

4 、工作溫度： 1300℃（溫區(qū) I）， 1500℃（溫區(qū) II）， 1300℃（溫區(qū) III）

5 、溫度： 1400℃（溫區(qū) I）， 1600℃（溫區(qū) II）， 1400℃（溫區(qū) III）

6 、控溫精度：±1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 860mm×470mm×720mm；重量： 150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁陶瓷管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

真空法蘭

1 套

4

坩堝鉗

1 把

5

高溫手套

1 雙

可選配件

1、高真空系統(tǒng)

2、供氣混氣系統(tǒng)

3、石英管

4、氧化鋁坩堝

5、石英坩堝

6、雙級旋片真空泵

7 、PC 控制軟件