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池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
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GR-511F池田屋HORIBA堀場(chǎng) 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)
| 參考價(jià): | ￥ 16433 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- GR-511F 產(chǎn)品型號(hào)
- HORIBA/堀場(chǎng) 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：143更新時(shí)間：2024-08-07 16:45:16
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-5萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 試驗(yàn)力加載速率 | 見(jiàn)資料 | 壓板間距 | 見(jiàn)資料mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材,電子,交通,電氣,綜合 | 最大試驗(yàn)力 | 見(jiàn)目錄KN |
| 訂貨號(hào) | 176.0755.4908. |
從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程（T98）
尺寸緊湊，
產(chǎn)品介紹
池田屋HORIBA堀場(chǎng) 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)
池田屋HORIBA堀場(chǎng) 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)
對(duì)氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對(duì)于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制，還可以進(jìn)行流量測(cè)量。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過(guò)使用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的電容式壓力傳感器，可以在低壓下進(jìn)行精確的壓力控制。
壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。
對(duì)氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對(duì)于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制，還可以進(jìn)行流量測(cè)量。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定
配備質(zhì)量
流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器，可以以與原料氣體供應(yīng)過(guò)程相同的精度監(jiān)控實(shí)際流量。
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以進(jìn)行類似的設(shè)計(jì)和構(gòu)造。
符合RoHS指令
這是一款配備數(shù)字控制電路的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。
采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無(wú)死體積結(jié)構(gòu)，可對(duì)腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號(hào)進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中，例如需要全面性能評(píng)估的氣體傳感器和耐壓評(píng)估系統(tǒng)。
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