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PE-D20全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元
| 參考價(jià): | ￥ 8432 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- PE-D20 產(chǎn)品型號(hào)
- HORIBA/堀場(chǎng) 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：139更新時(shí)間：2024-08-07 16:04:23
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 農(nóng)業(yè),電子,交通,電氣,綜合 | 訂貨號(hào) | 176.0755.4908. |
|---|
從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程（T98）
尺寸緊湊，
產(chǎn)品介紹
全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元
全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元
隨著半導(dǎo)體制造薄膜沉積工藝中微細(xì)加工的進(jìn)步，處理后保持腔室清潔對(duì)于提高生產(chǎn)率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)視器，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)廢氣成分（SiF4、CF4）。通過(guò)優(yōu)化干洗終點(diǎn)檢測(cè)、減少清潔氣體消耗和時(shí)間以及減少室損壞，有助于延長(zhǎng)零件的使用壽命。
寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開(kāi)始執(zhí)行
高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數(shù)字校正功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度
全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程
配備多氣體/多量程功能，
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。
在整個(gè)流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進(jìn)的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過(guò)程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
級(jí)別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分，具有的結(jié)構(gòu)，盡管其尺寸最小，但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當(dāng)測(cè)量總壓力高達(dá) 0.5 Pa（對(duì)于 2-65 m/z 傳感器）時(shí)，無(wú)需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。
用戶可更換的傳感器
校準(zhǔn)過(guò)濾器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換，無(wú)需拆卸設(shè)備。
一臺(tái)安裝了專用通信
軟件的 PC 通過(guò) RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開(kāi)發(fā)的，可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。
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