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真空法蘭是真空設備中使用的法蘭。
法蘭是用于壓力容器的圓形或方形板狀零件。該部件用于連接其他設備或附加觀察窗，同時保持容器的氣密性。其中真空法蘭用于在設備內(nèi)部創(chuàng)造真空環(huán)境。
外周設有螺紋孔和凹槽，法蘭用螺栓和螺母緊固在一起。出于密封目的，通常使用墊圈或填料來密封產(chǎn)品。標準有NW、KF、JIS等多種。
真空法蘭的應用
真空法蘭廣泛應用于需要真空設備的各個行業(yè)。下面是它的用途。
1、半導體行業(yè)
在半導體行業(yè)中，真空環(huán)境對于晶圓制造過程至關重要。通過在真空下進行蒸發(fā)和蝕刻等工藝，可以制造高質(zhì)量的半導體器件。真空法蘭用于保證真空室氣密，防止雜質(zhì)進入，同時保證氣體和反應物的引入。
2、光學設備行業(yè)
在光學設備行業(yè)，真空環(huán)境用于光學元件（例如透鏡和鏡子）的鍍膜工藝。通過在真空環(huán)境下進行鍍膜，可以涂覆高精度且厚度均勻的薄膜，從而提高光學性能。真空法蘭對于確保涂層材料沉積過程中真空室內(nèi)的氣密性并防止雜質(zhì)污染非常重要。
3、發(fā)電業(yè)務
用于發(fā)電的蒸汽輪機使用一種稱為冷凝器的裝置將蒸汽轉化為純水。在冷凝器內(nèi)，蒸汽被冷卻并返回純水，在內(nèi)部形成真空。真空法蘭是維持冷凝器連接點真空條件的重要部件。
4、材料研發(fā)
在研發(fā)領域，真空設備用于合成新材料和研究物理性質(zhì)。特別是物理、化學實驗往往需要在真空下進行反應和樣品分析，必須在進行實驗的同時防止外界空氣和雜質(zhì)的侵入。這使得能夠使用更高純度的樣品進行實驗，從而加速科學發(fā)現(xiàn)和技術創(chuàng)新。
真空法蘭原理
真空法蘭用于確保真空系統(tǒng)的氣密性。用于連接兩個或多個管道、管子等的機械連接零件。它對于防止雜質(zhì)和空氣從外部進入同時保持內(nèi)部真空狀態(tài)起著重要作用。
真空法蘭通過在法蘭連接處使用墊片、填料等密封材料來保證氣密性。這是一種將密封材料夾在法蘭的接觸面之間并通過螺栓和螺母緊固來壓縮的機構。這甚至可以關閉最小的間隙并防止氣體從外部泄漏。
真空法蘭常采用SUS316L、SUS304等不銹鋼材料。使用鎳合金（例如鉻鎳鐵合金）也可以提高耐腐蝕性。采用聚四氟乙烯填料和銅墊片作為密封劑以保證氣密性。
真空法蘭的類型
根據(jù)標準的不同，真空法蘭有多種類型。以下是這些類型的一些示例。
1.KF/NW法蘭
也稱為 KF (Klein Flansche) 法蘭或 NW (Normschliff) 法蘭，廣泛應用于中真空至高真空范圍。它采用模塊化設計，使用密封材料和卡箍實現(xiàn)氣密連接。易于安裝和拆卸，非常適合經(jīng)常更改配置的設備。
2.CF法蘭
CF（Conflat Flang）法蘭專為超高真空應用而設計，并使用銅或不銹鋼制成的金屬墊片進行連接。它可以實現(xiàn)非常高的氣密性和真空度，并且能夠抵抗熱循環(huán)和化學腐蝕。
3、美標法蘭
ANSI（美國國家標準協(xié)會）法蘭是主要用于低真空應用的美國標準。它也用于一般管道系統(tǒng)，通常使用螺栓和螺母連接。
4、JIS法蘭
JIS是定義日本工業(yè)標準的標準，為許多工業(yè)產(chǎn)品和技術制定標準。真空法蘭還有JIS標準，主要適用于日本制造的真空設備。使用螺栓和螺母進行緊固是很常見的。
