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當(dāng)前位置：天津瑞利光電科技有限公司>> Veeco Instruments退火系統(tǒng)LSA 101
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地天津市
更新時間：2024-06-27 15:07:11瀏覽次數(shù)：162次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,汽車,電氣 |
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產(chǎn)品名稱：Veeco Instruments退火系統(tǒng)LSA 101
產(chǎn)品型號：LSA 101
產(chǎn)品介紹
Veeco的LSA101系統(tǒng)安裝在DM和鑄造廠，是大批量生產(chǎn)40nm至14nm節(jié)點的邏輯器件的技術(shù)。LSA101的掃描技術(shù)建立在Veeco可定制的Unity平臺上，在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有基本優(yōu)勢。LSA101系統(tǒng)實現(xiàn)了關(guān)鍵毫秒退火應(yīng)用，使客戶能夠保持準(zhǔn)確、有針對性的高處理溫度，從而實現(xiàn)器件性能的提高、更低的泄漏和更高的產(chǎn)量。
標(biāo)準(zhǔn)LSA101配置利用單個窄激光束將晶片表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應(yīng)對日益復(fù)雜的工藝需求，Veeco開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴(kuò)展了非熔化激光退火的應(yīng)用空間，并采用第二種低功率激光束實現(xiàn)低溫加工。當(dāng)使用雙光束時，引入第二較寬的激光束來預(yù)熱晶片。雙梁系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力分布方面提供了靈活性。
性能特點
l Ultratech的激光處理系統(tǒng)提供了解決方案，以應(yīng)對制造具有高度激活的源極/漏極觸點的超淺結(jié)晶體管的艱巨挑戰(zhàn)
l LSA在高達(dá)1350°C的溫度下提供亞毫秒熱退火過程，從而以小的摻雜劑擴(kuò)散減少激活
l Ultratech的光學(xué)設(shè)計與其他毫秒退火系統(tǒng)相比，將與圖案相關(guān)的模內(nèi)溫度變化減少了>10倍
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：美國
節(jié)點：40nm到10nm
平臺：Unity Platform
系統(tǒng)類型：雙梁
技術(shù)：雙光束
精度：亞毫秒
溫度：高達(dá)1350°C
加工方式：低溫
安裝：DM和鑄造廠
標(biāo)準(zhǔn)配置：單個窄激光束
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