目錄:廣州市諾達(dá)電子有限公司>>固定式單一氣體報警儀 ND系列>> ND系列半導(dǎo)體廠房硅烷氣體泄漏檢測
參考價 | ¥1000-¥15000 | /件 |
參考價:¥1000 ~ ¥15000
更新時間:2024-08-24 08:39:11瀏覽次數(shù):320評價
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣 |
---|
什么是硅烷氣體:
硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè), 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量,決定了它是一種高危險性的氣體。
半導(dǎo)體廠房硅烷氣體泄漏檢測主要特點(diǎn):
★速核系統(tǒng):采用高精度32位高速微處理器,Epsion數(shù)據(jù)處理系統(tǒng),速測危害氣體,高效預(yù)警毒氣泄漏;
★多級標(biāo)定:業(yè)內(nèi)智能化多級校準(zhǔn)技術(shù),多重濾波技術(shù),更精準(zhǔn)更快速地反饋現(xiàn)場濃度值;
★自動標(biāo)定:通入實際標(biāo)氣,無需標(biāo)定員操作,智能識別標(biāo)定;
★穩(wěn)定性:經(jīng)過嚴(yán)格的進(jìn)料篩選工序,及行業(yè)經(jīng)驗十幾年的研發(fā)人員匠心打造,抗EMC、EMI干擾,大幅度提高的可靠性;
★多結(jié)構(gòu)的通訊方式:支持4-20mA與RS485單路或多路同時通訊,有線與內(nèi)置無線433M/GPRS等無線多路通訊(選配);
★規(guī)范標(biāo)準(zhǔn):JJF 1363-2012,JJF 1368-2012,JJF 1421-2013,JJF 1364-2012;GB3836-2010,GB 12476.5-2013。
半導(dǎo)體廠房硅烷氣體泄漏檢測技術(shù)規(guī)格參數(shù)及氣體種類: | ||||||
檢量程測氣體 | 硅烷 | 量程 | 0-10PPM/0-50PPM/0-20PPM (更多量程可以咨詢) | |||
分辨率 | 0.01PPM | 檢測原理 | 電化學(xué)原理/光離子原理 | |||
精度 | ≤±3F.S | 顯示方式 | 320*240高清彩屏 | |||
響應(yīng)時間 | T90<30S | 恢復(fù)時間 | ≤30S(T90-T10) | |||
使用壽命 | 傳感器2-3年 | 檢測方式 | 擴(kuò)散式 | |||
重復(fù)性 | ≤±1%F.S | 繼電器 | 容量 220VAC /24VDC | |||
無線輸出 (選配) | 433M(≤無障礙3公里 )(定制) GPRS(無距離限制)(定制) WIFI/zigbee/LORA(定制) | 有線輸出 (選配) | 485+開關(guān)量輸出 (標(biāo)配) 4-20mA+RS485+開關(guān)量報警輸出 (定制) 以上任選一種 | |||
防護(hù)等級 | IP66 | 防爆等級 | 隔爆型:ExdⅡCT6 Gb | |||
尺寸 | 205*140*92mm(L×W×H) | 探頭材質(zhì) | 鋁合金、不銹鋼(可選) | |||
安裝方式 | 壁掛式、桿裝式、管道式 | 重量 | 1KG | |||
工作電壓 | 12-35VDC,常用12VDC、24VDC | 電氣接口 | 接線口尺寸:內(nèi)螺牙 M20*1.5( G1/2內(nèi)螺牙、G3/4內(nèi)螺牙、 1/2NPT | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 探測器、說明書、紅外遙控器、廠家出廠檢測報告 | 選配件 | 防爆聲光報警、安裝支架、管道式安裝配件等 | |||
工作環(huán)境 | 溫度:催化燃燒:-40~+70℃;電化學(xué):-20~+50℃;PID:-20~+50℃;紅外:-20~+50℃ 熒光法:-20~+50℃; 氧化鋯:-40℃~+700℃ 壓力:86-110Kpa;(氧化鋯:≤0.6Mpa) 濕度:15%RH~95%RH(無凝露) | |||||
產(chǎn)品功耗 | 電化學(xué)傳感器:P≤1.2W 紅外傳感器:P≤2.0W 普通催化傳感器:P≤2.6W 低功耗催化傳感器:P≤1.5W 熱導(dǎo)傳感器:P≤2.0W | |||||
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) | GB15311.1-2003;GB3836.1-2010;GB3836.2-2010;GB3836.4-2010 |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)