日本TORAY東麗傳感器
MS-500/MS-510/SD 傳感器系列多點氧氣儀是利用我們多年積累的半導體和電子行業(yè)氧分析儀制造技術,為包括真空設備在內(nèi)的各種設備開發(fā)的產(chǎn)品。
日本TORAY東麗傳感器
配備我們專有的緊湊型氧化鋯傳感器,可以長時間進行穩(wěn)定和高精度的測量,并通過安裝氧傳感器保護機構,實現(xiàn)了超過傳統(tǒng)產(chǎn)品的耐用性。 此外,通過將氧傳感器和轉(zhuǎn)換單元分開,并將檢測器的數(shù)量增加到 8 個點,可以同時進行測量。 它易于操作,是集成到各種加工設備中的最佳氧氣儀。
傳感器特性
?兼容真空氣氛
它是一種無需采樣的直插式傳感器,即使在真空環(huán)境中也可以測量。
- 超快響應
使用單獨的傳感器可實現(xiàn)最短的響應時間。
- 高耐用性傳感器
傳感器經(jīng)過特殊涂層處理,實現(xiàn)了高耐用性
日本TORAY東麗傳感器
探測器(transducer、sensor)規(guī)格
大小 | 傳感器:100 (W) × 40 (H) × 88 (D)(單位:mm,不包括突起部分) 傳感器:總長度 100(單位:mm) |
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質(zhì)量 | 傳感器:約 0.5 kg 傳感器 :約 0.3 kg |
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安裝方法 | 傳感器:用 M3 螺釘 固定在平面上傳感器:ISO 真空法蘭 |
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連接 | 傳感器 ~ 通過專用線路進行傳感器到傳感器連接 標準長度 2 m,最長 10 m |
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預熱時間 | 6 分鐘內(nèi) |
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權力 | 電源:DC24V,2A 功耗 :60VA(穩(wěn)態(tài):15VA) |
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重復性 | 0~1% 范圍或更高:±0.5%FS 或更低 小于 0~1% 范圍:±1.0%FS 或 ±0.1ppm,以大于 * 0~1ppm 范圍及以下為準,不予保修。 |
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氣點 穩(wěn)定性 | ± 1.0% FS 或更低 / 24 小時 |
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試樣條件 | 請勿在還原氣氛中使用。 此外,如果被測氣體的比熱很高,例如高濃度的 He,則可能無法使用它。 溫度:0~100°C 壓力 :10-3Pa~200kPa(絕對壓力) 濕度:露點低于環(huán)境 溫度 流量:0.5 ~ 5L/min 或 0L/min(測量自然擴散狀態(tài)) |
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