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日本ULVAC愛發(fā)科 短排氣時間 干式真空泵

參   考   價: 8522

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號LR60

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-07-02 11:02:44瀏覽次數(shù):165次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 1千-2千
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,電氣,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科 短排氣時間 干式真空泵
通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 短排氣時間 干式真空泵

日本ULVAC愛發(fā)科 短排氣時間 干式真空泵


通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

特點(diǎn)

  • 低溫區(qū)域均熱化(LR系列)
    在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • 成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)

  • 縮短備料下料室的排氣時間

  • 作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣)

規(guī)格

型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排氣速度
50Hz62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到達(dá)壓力5.0 Pa
最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排氣口KF40VG50
質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時6.9 A
(at 200V)
11.2 A
(at 200V)
18.9 A
(at 200V)
20.8 A
(at 200V)
最大值7.3 A
(at 200V)
11.8 A
(at 200V)
20.6 A
(at 200V)
48.5 A
(at 200V)
冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
二次壓力0.05~0.1 MPa
氮?dú)獯祾?/td>5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

*1 請訂購時確認(rèn)



型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)
LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵
LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
機(jī)械
增壓泵
PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)
PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排氣
速度
50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到達(dá)壓力0.67 Pa
最大排氣壓力
(吸入圧力)
大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排氣口KF40KF50
MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
電源
*2
三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時7.0 A
(at 200V)
12.3 A
(at 200V)
13.7 A
(at 200V)
21.4 A
(at 200V)
31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值9.6 A
(at 200V)
19.0 A
(at 200V)
24.2 A
(at 200V)
39.8 A
(at 200V)
58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水
一次壓力
0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水
出入口壓差
>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次
壓力
0.1~0.5 MPa
二次
壓力
0.05~0.1 MPa
N2
吹掃
5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
*2 請訂購時確認(rèn)。
*3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報價。



配飾

消音器 (選項(xiàng))

型號材質(zhì)表面處理重量
(kg)
法蘭
接口
LR
300
LR
600
LR
1200
LR
1800
L&
3601
LR
60
LR
90
LR
180
LR
421
LR
421-T
RS-01 +
kitA
SUS
304
GBB處理4.1
kg
KF40-------
RS-01 +
kitB
KF40--------
RS-02 +
kitA
8.3
kg
KF40--------
RS-02 +
kitB
KF40-------
RS-03 +
kitA
磨板12.5
kg
KF50--------
RS-03 +
kitB
---------






















ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán),為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機(jī)工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司












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