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日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵耐腐蝕返回列表頁

舉報評價

參考價: ￥ 9115

訂貨量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號UR600

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

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更新時間：2024-07-02 10:51:39瀏覽次數(shù)：101次

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產(chǎn)品分類品牌分類

ULVAC愛發(fā)科

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進口	價格區(qū)間	1千-2千
應用領(lǐng)域	化工,能源,電子,電氣,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵耐腐蝕
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

詳情介紹

日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵耐腐蝕

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	機械增壓泵	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大排氣速度	50Hz	410 m³/h (6833 L/min)	653 m³/h (10883 L/min)	1012 m³/h (16867 L/min)	1701 m³/h (28350 L/min)	2700 m³/h (45000 L/min)
到達壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
質(zhì)量		415 kg	370 kg	403 kg	553 kg	720 kg
電源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)	200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)			180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時	23 A(at 200V)	16.4 A(at 200V)	18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	52.5 A(at 200V)	17.3 A(at 200V)	22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.2~0.5 Mpa	0.1~0.3 Mpa			0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差		>0.2 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa
冷卻水流量		>5.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 Mpa
	二次壓力	0.05~0.1 Mpa
N2吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~195 SLM	0~45 SLM		0~195 SLM	0~195 SLM

*1:請勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進行連續(xù)運
*　沒有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請另行確認

■運轉(zhuǎn)方式

干式真空泵運轉(zhuǎn)方式			1		2		3
N₂流量		SLM	0		5		5~50^*1

ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。

自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備，ULVAC接受了利用技術(shù)進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。

追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內(nèi)，零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設備支撐的。

通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。

盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。

零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科（寧波）有限公司