日本orc半導(dǎo)體光刻機(jī) PPS-8200p1/8300p1
用途:支持各種應(yīng)用
特長(zhǎng)
-寬頻譜光刻 (與菜單連動(dòng)的 ghi線 gh線, i線的自動(dòng)切換)
-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)
-最多8Field的拼接設(shè)計(jì)格式
-光學(xué)系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學(xué)物質(zhì)影響
日本orc半導(dǎo)體光刻機(jī) PPS-8200p1/8300p1
用途:支持各種應(yīng)用
特長(zhǎng)
-寬頻譜光刻 (與菜單連動(dòng)的 ghi線 gh線, i線的自動(dòng)切換)
-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)
-最多8Field的拼接設(shè)計(jì)格式
-光學(xué)系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學(xué)物質(zhì)影響
制品規(guī)格
型式
| PPS-8200p1/8300p1 |
wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
NA(開口數(shù)) | 0.16、0.1可變 |
縮小比 | 1:1 |
Field尺寸 | 52mm × 33mm |
光刻波長(zhǎng) | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動(dòng)) |
視野尺寸 | 6inch |
重復(fù)對(duì)位精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
裝置尺寸/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |
日本orc半導(dǎo)體光刻機(jī) PPS-8200p1/8300p1
用途:支持各種應(yīng)用
特長(zhǎng)
-寬頻譜光刻 (與菜單連動(dòng)的 ghi線 gh線, i線的自動(dòng)切換)
-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)
-最多8Field的拼接設(shè)計(jì)格式
-光學(xué)系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學(xué)物質(zhì)影響
制品規(guī)格
型式
| PPS-8200p1/8300p1 |
wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
NA(開口數(shù)) | 0.16、0.1可變 |
縮小比 | 1:1 |
Field尺寸 | 52mm × 33mm |
光刻波長(zhǎng) | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動(dòng)) |
視野尺寸 | 6inch |
重復(fù)對(duì)位精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
裝置尺寸/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |