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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片與器件，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體器件的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。該類(lèi)儀器主要通過(guò)連接儀器及待測(cè)物實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過(guò)自帶的驅(qū)動(dòng)及測(cè)試軟件能夠獨(dú)立實(shí)現(xiàn)器件的電學(xué)特性測(cè)試，為精密器件提供一個(gè)良好的系統(tǒng)平臺(tái)。
詳細(xì)介紹
通過(guò)探針接觸的方法給器件施加光電信號(hào)來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體器件伏安特性（即電壓-電流特性）的儀器，在測(cè)量及選用半導(dǎo)體器件時(shí)有著廣泛的用途。
1、探針臺(tái)系統(tǒng)
1-1載物臺(tái)XY行程：200x200mm，帶鎖死功能，Z軸行程：10mm，移動(dòng)分辨率為1um
1-2 載物臺(tái)采用多圈吸附環(huán)固定樣品，真空吸附，真空開(kāi)關(guān)獨(dú)立控制，四個(gè)
2、顯微鏡系統(tǒng) Motic PSM-1000
2-1長(zhǎng)工作距離，四孔物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)
2-2總放大倍數(shù)：50x-1000x
3、測(cè)試及屏蔽系統(tǒng)
3-1 探針座XYZ移動(dòng)范圍：12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
3-2配置主動(dòng)氣浮式防震桌尺寸：1200mm x 800mm x 800mm
3-3 配置低噪無(wú)油空壓機(jī)和真空泵
探針臺(tái)