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1、目 的
本試驗測試潔凈臺在正常運轉(zhuǎn)下是否能達到潔凈度的要求。
2、儀器
塵埃粒子計數(shù)器(粒徑分辨率由0.3μm或0.1μm起始),最小采樣速度為2.83L/min。
3、方法
潔凈度的檢測方法按以下步驟進行：
a) 將潔凈臺的氣流流速設(shè)置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的zuidi值，并將玻璃窗開啟到生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高 值，雙面操作的潔凈臺應(yīng)將兩面的玻璃窗都開啟到生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值，無玻璃窗操作口的潔凈臺可直接檢測；
b) 生產(chǎn)廠商在工作臺面向上200mm,測試區(qū)域邊界與潔凈臺的內(nèi)壁及操作口的距離應(yīng)為100mm;
c) 除在測試區(qū)域四個角布置采樣點外，還需在測試區(qū)域內(nèi)沿中心線平均布點，測試區(qū)域內(nèi)的采樣 點數(shù)目不得少于5個；
d) 每個采樣點的采樣次數(shù)不得少于3次，每次采樣量應(yīng)不小于5.66 L;
e) 粒子計數(shù)器的采樣口應(yīng)正對氣流方向。
潔凈臺工作區(qū)≥0.5μm塵埃粒子數(shù)應(yīng)≤3520個/m3,≥5μm塵埃粒子數(shù)應(yīng)≤29個 注：即潔凈ISO等級5(100級)。
