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真空熱處理爐（燒入、燒結(jié)、燒鈍）
  • 真空熱處理爐（燒入、燒結(jié)、燒鈍）

更新時間：2024-10-31 10:23:31

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  類型Ⅰ 內(nèi)碳 類型Ⅱ 內(nèi)金屬 類型Ⅲ 外熱
型式 VHF-Ⅰ© VHF-Ⅰ(M) VHF-E
加熱溫度域 超高溫、高溫（1）、高溫（2）700～2300℃ 超高溫、高溫（1)1000～2300℃ 高溫（1）、高溫（2）700～1600℃
  硬質(zhì)碳 金屬加熱棒（鎢 鉬 炭化珪素） 金屬加熱棒
容器材質(zhì) 不銹鋼：SUS304 (水冷） 不銹鋼：SUS304（水冷） 爐芯管材：鋁管（～1600℃） 石英管（～1200℃）


溫度領(lǐng)域と構(gòu)成
分　　類 加熱溫度 制御センサ ヒータ材質(zhì) （加熱方式）
超高溫 1400～2300℃ 放射溫度計 碳加熱棒 金屬加熱棒(W、Mo）*1
高溫1 1000～1500℃ 白金—ロジューム熱電対 （S型、R型、B型） 碳加熱棒 金屬加熱棒(Mo、SiC）*1
高溫2 700～1100℃ クロメルーアルメル熱電対 （K型） カンタル線ヒータ

壓力領(lǐng)域（真空度）と真空ポンプ

壓力（Pa) 真空
大氣～3.0 油旋片泵
大氣～10 干式泵
1000～0.4 羅茨泵＋油旋片泵
3～1×10 -3 擴散泵＋油旋片泵
200～2×10 -5 渦輪分子泵+干泵  渦輪分子泵+油旋片泵
40～10 -7 冷凍泵+抽水機 冷凍泵+油旋片泵

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