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| 系列 Series | DQ *2 | DN | DY | DH |
| 槽內寸法 Inner vessel dimensions | 300□～1000□mm | 300□mm | 400□～2000□mm | 400□～1500□mm |
| 真空排氣系 Vacuum exhaust system | 油回轉真空 Oil-sealed rotary vacuum pump | — | 油旋片真空泵Oil-sealed rotary vacuum pump | 油旋片真空泵＋擴散泵Oil-sealed rotary vacuum pump and Oil diffusiopn pump |
| 油旋片真空泵︱羅茨泵Oil-sealed rotary vacuum pump and Mechanical booster | 油旋片真空泵＋渦旋分子泵Oil-sealed rotary vacuum pump and Turbo-molecular pump | |||
| 到達壓力 *1 Ultimate pressure *1 | ×10Pa 1 | ×10Pa 1 | ×10 1 Pa | ×10 -3 Pa |
| ×10 0 Pa | ×10 -4 Pa | |||
| 加熱方式 Heating system | 外部加熱 External heating | 外部加熱 External heating | 內部加熱 Internal heating | 內部加熱 Internal heating |
| 溫度范圍 Maximum temperature range | 200℃ | 200℃ | 300～650℃ | 300～650℃ |
| 操作方式 Operating system | 手動 Manual | 手動 Manual | 自動 Automatic | 自動 Automatic |
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