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無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
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當前位置:無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機>>Chiller>> LTS-202金屬硬掩膜刻蝕單通道chiller用于選擇裝置

金屬硬掩膜刻蝕單通道chiller用于選擇裝置

參   考   價: 159440

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號LTS-202

品       牌冠亞制冷

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地無錫市

更新時間:2024-01-11 10:15:51瀏覽次數(shù):429次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 10萬-50萬
冷卻方式 水冷式 儀器種類 一體式
應用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥,汽車
【無錫冠亞】半導體控溫解決方案主要產(chǎn)品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。金屬硬掩膜刻蝕單通道chiller用于選擇裝置



無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,

?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。




【 冠亞制冷 】半導體行業(yè)主營控溫產(chǎn)品:

半導體專溫控設備

射流式?低溫沖擊測試機

半導體專用溫控設備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風控溫裝置

半導體?低溫測試設備

電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案


型號FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴展通過增加電加熱器,擴展-25℃~80℃





金屬硬掩膜刻蝕單通道chiller用于選擇裝置

金屬硬掩膜刻蝕單通道chiller用于選擇裝置


半導體專用溫控設備(Chiller)主要用于半導體制造過程中準確控制反應室的溫度。半導體專用溫控設備利用制冷循環(huán)和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進行控制,以實現(xiàn)半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設備。


半導體專用溫控設備(Chiller)依據(jù)不同工藝制程要求控制給定溫度的循環(huán)液流經(jīng)半導體工藝設備反應腔內(nèi),將熱量帶入半導體專用溫控設備,半導體專用溫控設備通過熱交換器將熱量傳遞給制冷劑,再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水,從而實現(xiàn)對工藝制程的溫度控制。


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