作用：去除原水中的懸浮物、泥沙、鐵銹等顆粒雜質(zhì)，降低水的濁度。多介質(zhì)過濾器一般由無煙煤、石英砂等不同顆粒大小的濾料組成，通過物理過濾的方式截留雜質(zhì)。

舉例：當(dāng)原水通過多介質(zhì)過濾器時(shí)，較大顆粒的雜質(zhì)被濾料層阻擋，使出水的濁度明顯降低，為后續(xù)的處理環(huán)節(jié)提供較為清潔的水源。

作用：吸附原水中的有機(jī)物、余氯、異味等，改善水的口感和化學(xué)性質(zhì)?；钚蕴烤哂芯薮蟮谋缺砻娣e和豐富的微孔結(jié)構(gòu)，能夠有效地吸附水中的各種污染物。

舉例：如果原水中含有余氯，會(huì)對(duì)后續(xù)的反滲透膜造成損害，通過活性炭過濾器可以去除余氯，保護(hù)反滲透膜。同時(shí)，活性炭還可以吸附水中的有機(jī)物，降低水中的 COD（化學(xué)需氧量）值。

作用：去除原水中的鈣、鎂離子，降低水的硬度，防止在后續(xù)處理過程中形成水垢。硬水中的鈣、鎂離子在加熱或與其他物質(zhì)反應(yīng)時(shí)，會(huì)形成碳酸鈣、碳酸鎂等沉淀物，即水垢，影響設(shè)備的運(yùn)行效率和壽命。

舉例：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，高硬度的水可能會(huì)導(dǎo)致管道、設(shè)備結(jié)垢，影響水的流量和壓力，甚至損壞設(shè)備。軟化器通過離子交換的方式，將水中的鈣、鎂離子置換為鈉離子，從而降低水的硬度。

作用：進(jìn)一步去除水中的微小顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。保安過濾器通常采用濾芯過濾的方式，濾芯的精度一般為 5 微米或 1 微米。

舉例：經(jīng)過預(yù)處理后的水進(jìn)入保安過濾器，細(xì)小的顆粒雜質(zhì)被濾芯攔截，確保進(jìn)入反滲透膜的水的清潔度，防止反滲透膜被顆粒雜質(zhì)劃傷或堵塞。

作用：反滲透是超純水設(shè)備的核心工藝之一，它利用半透膜的原理，在壓力的作用下，使水通過半透膜而鹽分等雜質(zhì)被截留，從而達(dá)到去除水中各種離子、有機(jī)物、微生物等的目的，生產(chǎn)出高純度的水。

舉例：反滲透膜的孔徑非常小，只有 0.0001 微米左右，可以有效地去除水中的溶解性固體、細(xì)菌、病毒等。反滲透裝置一般由反滲透膜元件、壓力容器、高壓泵等組成。在半導(dǎo)體工業(yè)中，反滲透水通常作為進(jìn)一步處理的水源，以滿足更高的水質(zhì)要求。

作用：通過離子交換的方式，進(jìn)一步去除水中的離子雜質(zhì)，使水的電阻率達(dá)到更高的水平。離子交換樹脂通常分為陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂，分別用于去除水中的陽(yáng)離子和陰離子。

舉例：當(dāng)反滲透水通過離子交換樹脂時(shí)，水中的陽(yáng)離子（如鈉離子、鈣離子等）與陽(yáng)離子交換樹脂中的氫離子進(jìn)行交換，水中的陰離子（如氯離子、硫酸根離子等）與陰離子交換樹脂中的氫氧根離子進(jìn)行交換，從而使水中的離子雜質(zhì)被去除，水的電阻率得到提高。在半導(dǎo)體工業(yè)中，離子交換樹脂通常用于生產(chǎn)電阻率高達(dá) 18.2 MΩ?cm 的超純水。

作用：EDI 是一種新型的深度除鹽技術(shù)，它結(jié)合了離子交換和電滲析的原理，在電場(chǎng)的作用下，使水中的離子通過離子交換膜遷移到濃水室，從而實(shí)現(xiàn)水的深度除鹽。EDI 裝置具有連續(xù)運(yùn)行、無需化學(xué)再生、出水水質(zhì)穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。

舉例：在半導(dǎo)體工業(yè)中，EDI 裝置通常與離子交換樹脂聯(lián)合使用，進(jìn)一步提高水的電阻率和純度。EDI 裝置可以去除水中的微量離子雜質(zhì)，使超純水的水質(zhì)達(dá)到更高的標(biāo)準(zhǔn)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中對(duì)水質(zhì)的嚴(yán)格要求。

作用：對(duì)超純水進(jìn)行殺菌消毒，防止微生物污染。紫外線殺菌器利用紫外線的殺菌作用，破壞微生物的 DNA 結(jié)構(gòu)，使其失去活性。

舉例：經(jīng)過深度除鹽處理后的超純水可能會(huì)在儲(chǔ)存和輸送過程中受到微生物的污染，通過紫外線殺菌器可以有效地殺滅水中的細(xì)菌、病毒等微生物，保證超純水的衛(wèi)生質(zhì)量。在半導(dǎo)體工業(yè)中，微生物污染可能會(huì)導(dǎo)致晶圓表面出現(xiàn)缺陷，影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此紫外線殺菌器是超純水設(shè)備中的一部分。

作用：去除超純水中的微小顆粒和膠體物質(zhì)，進(jìn)一步提高水的純度。超濾裝置采用超濾膜過濾的方式，超濾膜的孔徑一般在 0.01 微米至 0.1 微米之間，可以有效地去除水中的微小顆粒、膠體、細(xì)菌等雜質(zhì)。

舉例：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，超純水的純度要求非常高，任何微小的顆?；蚰z體物質(zhì)都可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響。超濾裝置可以作為最后一道屏障，確保超純水的純度達(dá)到半導(dǎo)體工業(yè)的要求。

作用：安裝在超純水設(shè)備的出水口，進(jìn)一步去除水中的殘留顆粒雜質(zhì)，確保出水的質(zhì)量。終端過濾器通常采用微孔濾芯過濾的方式，濾芯的精度可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇。

舉例：在半導(dǎo)體工業(yè)中，終端過濾器可以選擇 0.22 微米或 0.1 微米的濾芯，以確保超純水在輸送到生產(chǎn)設(shè)備之前沒有任何顆粒雜質(zhì)。終端過濾器的更換周期一般較短，需要定期進(jìn)行檢查和更換，以保證超純水的質(zhì)量。