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N型：0～2000um

FN型：0～3000um(F)；0～2000um(N)

誤差范圍Elektrophysik測(cè)厚儀                    

±2um或±2～4%

小曲率半徑EPK MINITEST600BF3                    

5mm(凸)；25mm(凹)

小測(cè)量面積EPK MINITEST600BF3                    

φ20mm

小基體厚度

0.5mm(F)；50um(N)

顯示

4位數(shù)顯，背光可選

測(cè)量單位EPK測(cè)厚儀                    

um-mils可選

校準(zhǔn)方式EPK測(cè)厚儀                    

標(biāo)準(zhǔn)、一點(diǎn)、兩點(diǎn)

統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差S、讀數(shù)個(gè)數(shù)n(多9,999個(gè))、值max、小值min(不適合于B型)

接口

RS232(不適合于B型)

電源

2節(jié)5號(hào)電池

儀器尺寸

64×115×25mm

探頭尺寸

φ15×62mm

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī)、 探頭、 零板和厚度標(biāo)準(zhǔn)箔、 電池、 操作說(shuō)明、 儀器包

可選型號(hào)

MiniTest 600B（基本型，無(wú)統(tǒng)計(jì)功能和接口）

MiniTest 600（統(tǒng)計(jì)型）