目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>管式爐>> HVS-03G高真空分子泵系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2018-12-07 13:50:45瀏覽次數(shù):689評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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產(chǎn)品型號(hào) | HVS-03G高真空分子泵系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | HVS-03G分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理,利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成真空獲得系統(tǒng),具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測(cè)量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、分子泵機(jī)組極限真空度(空載):≤9×10-5Pa 2、真空系統(tǒng)漏率:≤5×10-9PaM3/s 3、電源:220v±10/50Hz 4、電源插頭:16A 5、冷卻方式:水冷或風(fēng)冷(環(huán)境溫度5-40℃) 6、平臺(tái)承重:≤100kg 7、真空規(guī)參數(shù):ZDF-11A2 測(cè)量范圍:1.0×105 ~1×10-5Pa 配接規(guī)管:ZJ-52T一只,ZJ-27一只 |
注意事項(xiàng) | 1、拆開包裝箱,將設(shè)備從箱體中取出,檢查設(shè)備有無損壞,將設(shè)備的電源線接好,檢查地線與設(shè)備是否接好。 2、在接入供電電源時(shí),務(wù)必要確認(rèn)是否和設(shè)備要求的電源電壓相符。 設(shè)備安裝應(yīng)在平地上,豎直方向上與垂直方向上與垂直方向夾角小于5°。安裝后要固定腳輪。 3、機(jī)械泵的排氣口必須順暢,不得在封堵排氣口情況下啟動(dòng)泵。 4、機(jī)械泵在運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查油位,不要在泵沒有加油或缺油的情況下使用否則會(huì)造成泵的失效。 5、觀察機(jī)械泵油顏色,正常泵油是清潔和透明的;若泵油顏色變暗火渾濁時(shí)需要換油。切勿在泵溫較高的情況下?lián)Q油,必須等泵冷卻到低于50℃的溫度時(shí)方可換油。 6、分子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)盡量避免在泵體及控制器附近施加比較大的或是頻繁的震動(dòng),避免沖擊鉆作業(yè)和任何會(huì)產(chǎn)生較大磁場(chǎng)的作業(yè)。 7、啟動(dòng)分子泵前,系統(tǒng)壓強(qiáng)≤100 Pa。 |
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