目錄:深圳市恒歌科技有限公司>>燒結(jié)不銹鋼濾芯>>不銹鋼金屬過濾器>> 超純氣流微粒三通一體式過濾器
| 供貨周期 | 一周 | 貨號 | hk202353101 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | 氣液過濾 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 特性 | 耐高溫、耐腐蝕、易清洗 | 工作溫度 | 600℃ |
| 定制 | 來圖打樣 |
產(chǎn)品介紹
工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設計，靈活適應各類安裝空間。
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入，幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設計
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