本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)主要用于薄膜厚度測量和表面化學(xué)分析（深度剖析）儀器設(shè)備的檢定/校準(zhǔn)、分析方法的確認(rèn)與評價、技術(shù)仲裁測量以及測量質(zhì)量控制等。一、 樣品制備本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)系通過原子層沉積技術(shù)在單晶硅基底上生長二氧化硅納米薄膜成批制備而成，切割形成正方形片狀樣品（10mm×10mm×0.7mm）。二、 溯源性及定值方法本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)采用兩種的不同原理方法（掠入射 X 射線反射測量和橢偏測量）進(jìn)行定值，以兩種定值方法測量結(jié)果的總平均值作為標(biāo)準(zhǔn)值。通過使用滿足計量學(xué)特性要求的測量方法和計量器具，保證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)量值的溯源性。