INHA-氣體質(zhì)量流量計-模擬型
基于多年的經(jīng)驗,我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司,并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學(xué)校和研究機構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
INHA-氣體質(zhì)量流量計-模擬型
您好!歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經(jīng)驗,我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司,并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學(xué)校和研究機構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗。
我們還專門從事MFC的研究和生產(chǎn),并進口代理和銷售用MFC。此外,我們配備了校準(zhǔn)器,可以通過提供MFC專業(yè)維修和組裝來解決技術(shù)問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神,提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷,細(xì)致,可靠的服務(wù),精誠合作,共同進步!
INHA-氣體質(zhì)量流量計-模擬型
氣體質(zhì)量流量計MF-300M | |||
?三維尺寸圖 | |||
?特征 | |||
-響應(yīng)速些快 | |||
-準(zhǔn)確度高 | |||
-精確的流量測量 | |||
-寬壓力范圍 | |||
-優(yōu)良的耐腐蝕性 | |||
-出色的線性度 | |||
-新型傳感制作工藝 | |||
單位:m m | |||
"X"尺寸規(guī)格 | |||
接口規(guī)格 | mm | ||
1/4nLok | 144.8 | ||
3/8"Lok | 147.8 | ||
l/2nLok | 151.5 | ||
1/4 "VCR | 141.3 | ||
1/2 "VCR | |||
148.5 | |||
• Sccm,Slm表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) | |||
?產(chǎn)品規(guī)格 | |||
型號 | 1 MF-300M | ||
流量規(guī)格(N2 ) | 30SLM-100SLM | ||
控制量程 | 2%~100% of Full Scale | ||
準(zhǔn)確度 | <±1% of Full Scale | ||
線性精度 | <±0.5% of Full Scale | ||
重復(fù)精度 | <±0.2% of Full Scale | ||
響應(yīng)時間 | <2 sec | ||
正常工作溫度范圍 | 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) | ||
正常工作壓力范圍 | 0~100 Bar(g) | ||
漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He | ||
電源 | + 15Vdc or 24Vdc/300mA | ||
信號類型 | 0-5V or 4-20mA | ||
密封類型 | Viton/Buna/Kal rez/Teflon/Epdm | ||
控制類型 | X | ||
連接器類型 | D-Sub 9 Pin Connector Male | ||
氣路接口類型 | 1/4" , 3/8n , 1/2"LOK 1/4" , l/2nVCR | ||
接口類型 | Analog Type | ||
材質(zhì) | SUS 316L | ||
預(yù)熱時間 | 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | ||
?電氣連接 | |||
¥ | |||
61.50 | |||
niiEEim | |||
氣體質(zhì)量流量計 | |||
MF-300M(電壓電流型) | |||
D型9針連接器(公) | |||
電氣連接方式 電壓電流型 | |||
編號 | 功能 | MF-300M | |
1 | 地 | • | |
2 | + 15V/+24 V電源 | • | |
3 | 空 | X | |
4 | 信號公共端 | • | |
5 | 空 | X | |
6 | 信號輸出 | • | |
7 | 電源公共端 | • | |
8 | 空 | X | |
9 | 空 | X | |
Mass Flow Controller | |||
and Meter | |||
MF 300 Series | |||
FLOW | |||
24 | |||
INHA® | |||
MASS FLOW CONTROLLER |